无油真空泵因为体积小通常把无油真空泵叫做微型真空泵。无油真空泵具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压;排气嘴处形成微正压;工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。

　　无油真空泵直联旋片真空泵，是一种旋片式单级真空泵。用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备，比较大的优点是不返油，对被抽空间没有油蒸汽污染，不喷油，没有油蒸汽从泵口排出，不污染环境，属于环保类产品，因此发展前景很好，被称为二十一世纪“绿色真空泵”。

　　无油真空泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高，有爆炸性的有毒气体，更不能作为传输泵使用。