为了满足某些特殊需要，真空泵中有一类特殊的产品——无油真空泵。它可以在没有油来起润滑作用的情况下工作，提供一个更加良好的真空条件。

无油真空泵直联旋片真空泵，是一种旋片式单级真空泵。用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备。它可用于空调，制冷设备的修理，医疗仪器的抽吸装置，印刷机械，真空包装，真空吸塑，理化实验及需要真空环境的小型装置等各种真空作业用。还可以作为小型的油增压泵、油扩散泵，分子泵等的前级泵使用。

无油真空泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高，有爆炸性的有毒气体。更不能作为传输泵(即从一个容器抽送到另一个容器)使用。所以说，使用无油真空泵也要分场合，在有需要且适合的情况下才能使用。