对于无油真空泵而言，平日的保养维护等措施要及时到位。否则，当无油真空泵发生大的问题后，维修费用可是远远大于保养维护费用的。

无油真空泵的缸体内部安装有真空泵转子，转子槽内安装有真空泵叶片。叶片在电机的带动下高速旋转，使叶片与缸体发生摩擦，长时间后缸体内部将会出现磨损。请务必顶起对真空泵保养，保养项目中含有真空泵缸体的摩擦后修复或深加工等一系列保养工艺。

无油真空泵的叶片一般分为石墨、碳纤维、树脂和铝合金等材质。干式旋片泵的碳片易磨损，需要及时更换;树脂叶片以及铝合金叶片应随其工作情况及时更换。

密封性能的好坏与否，关系到无油真空泵的工作效率。维护时，大约1年内做一次保养，对其密封垫片以及密封件进行更换，确保无油真空泵内为密封状态。

除此之外，在日常的使用过程中，要同时稳定电压以及过载保护电流等措施防止真空泵电机损坏，这也是需要注意的一点。