由于单一的真空泵不能满足工作或实验所需要的特定环境，所以需要通过不同的真空泵来承担各自的任务，让整个系统能够和协同统一的完成工作。

根据它们各自的作用，可以将真空泵分为以下几种：

主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。

粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其比较高许可的前级压强以下的真空泵。

维持泵

维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

增压泵

增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

通过这些真空泵的共同作用，一级一级的提供良好的工作条件，比较终达到工作所需求的真空环境。