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关于前级泵​抽速选型策略
2017-07-28 09:01

  前级泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压力,使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定范围内。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的前级泵抽速配置。

前级泵.png

  前级泵抽速选择排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的比较大气体量排走,根据罗茨真空泵机组的长期工作压力范围来考虑。

  另外应当考虑的是,对预抽时间长短的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵,假如真空室较大,而且要求很快达到预抽真空度,就要用较大的前级泵。还有必须要注意的是罗茨泵的实际运行时的压差不得超过其比较大允许压差,一般建议控制在75%以下,否则罗茨泵会出现过热、过载或咬死等情况。


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